TATEISI PRIZE TATEISI SCIENCE AND TECHNOLOGY FOUNDATION

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江刺 正喜

第3回(2014年度)功績賞

江刺 正喜

東北大学 原子分子材料科学 高等研究機構
教授

授賞表題
豊かで安全な社会を支えるMEMSの研究と実用化

● 受賞者の業績

受賞者は、半導体微細加工技術に基づくMEMSの創始者の一人で,学術発展と産業化の牽引役としてMEMSの基盤技術の開発からデバイスの実用化まで多くの先駆的な成果を挙げ,黎明期からこの分野を先導するとともに,長年指導的な役割をはたしてきた。
現在,携帯電話,スマートフォン,ゲーム機器などは,機器を動かす,画面に触るなど,人間の直観にあった操作が可能であるが,このために加速度センサやジャイロなど各種のMEMSが使われている。従来の機械の操作はボタンを選んで押すなど機械の都合に合わせたものであったが、MEMSに基づくユーザーインターフェースにより,自然に近い形で人が機械を操作できるようになった。このようにMEMSは,様々なシステムの鍵を握るデバイスであり,その産業規模は年率10~15%の割合で成長している。特に今後は、ナノテクノロジーやバイオテクノロジーと融合し、「環境・省エネ」「健康・医療」「安全・安心」など広い分野での応用が期待できる。
受賞者自身が実用化した多くのデバイスの中には,医療用センサとして利用されたISFET,自動車のスピン・横滑りを検知するヨーレートセンサや加速度センサ,プラットフォームドアに乗客が挟まれないように監視する光スキャナ,地下鉄の乗り心地を改善する高精度静電浮上回転ジャイロなど,「人間と機械の調和」に具体的に大きく貢献したものが多い。
なお受賞者は、1992年に当財団から「集積化加速度センサの開発」の研究課題で助成を受け、その成果も本研究活動の充実と発展に寄与した。

● 記念講演概要

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